ZYGO深耕超精密制造技術(shù)領(lǐng)域數(shù)十年，是全球表面測量、位置傳感與精密光學(xué)元件制造領(lǐng)域的企業(yè)，始終以前沿技術(shù)為各行業(yè)打造專業(yè)光學(xué)計量解決方案。NewView™
90003D光學(xué)表面輪廓儀作為ZYGO旗下核心計量產(chǎn)品，深度融合非接觸測量技術(shù)、亞納米級高精度性能與全場景智能化設(shè)計，打破傳統(tǒng)精密測量的環(huán)境與操作限制，既滿足實驗室高端研發(fā)的嚴(yán)苛測量需求，也適配工業(yè)生產(chǎn)全流程的過程控制與在線檢測，成為各行業(yè)實現(xiàn)精密計量、提升產(chǎn)品質(zhì)量與研發(fā)效率的關(guān)鍵工具。
核心技術(shù)：筑牢超精密測量的技術(shù)基石
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9000以相干掃描干涉技術(shù)（CSI）為核心測量原理，這也是ZYGO多款3D光學(xué)輪廓儀的技術(shù)核心。設(shè)備通過窄線寬濾波的LED光源生成干涉條紋，精準(zhǔn)采樣分析樣品測試表面與理想?yún)⒖济娴钠?，借助干涉顯微物鏡垂直于樣品表面掃描，可獲取整個視場區(qū)域的三維數(shù)據(jù)地圖，而非單一剖面線輪廓，實現(xiàn)亞納米級的形貌縱向分辨率，讓納米級的表面形貌特征無所遁形。
為保障測量高保真度，ZYGO為每一款配套物鏡進(jìn)行專屬優(yōu)化，使干涉條紋包絡(luò)的峰值位置與物鏡光學(xué)成像焦點精準(zhǔn)契合，確保全放大倍數(shù)下測量精度始終穩(wěn)定。同時，設(shè)備融合SureScan?抗振掃描技術(shù)，可有效抵消工業(yè)環(huán)境中的振動干擾，打破傳統(tǒng)精密測量設(shè)備對嚴(yán)苛無振環(huán)境的依賴，實現(xiàn)工業(yè)現(xiàn)場的高精度計量。
高精度、高效率、高適配的表現(xiàn)
亞納米級精度，測量結(jié)果國際認(rèn)證
設(shè)備擁有優(yōu)秀的測量精度與重復(fù)性，表面形貌重復(fù)性優(yōu)于0.08nm，RMS重復(fù)性達(dá)0.008nm；100×物鏡下光學(xué)橫向分辨率可達(dá)0.34μm，100×物鏡2×zoom下空間采樣分辨率達(dá)0.04μm。臺階高度測量重復(fù)性0.1%、精度0.03%，能精準(zhǔn)捕捉樣品表面納米級形貌特征，測量結(jié)果符合ISO25178、ISO4287/4288等國際標(biāo)準(zhǔn)，為計量結(jié)果提供背書。
高速測量+簡易操作，大幅提升計量效率
設(shè)備支持高速掃描，不同測量陣列下最大掃描速度可達(dá)171μm/sec，數(shù)秒內(nèi)即可捕獲百萬級數(shù)據(jù)點，擺脫傳統(tǒng)測量的低效率痛點。搭載PartFinder自動條紋對焦與SmartSetup智能設(shè)置功能，無需專家級專業(yè)培訓(xùn)，1分鐘內(nèi)即可自動找到條紋并完成測試，大幅降低操作門檻，讓非專業(yè)人員也能輕松完成精密測量。
同時，設(shè)備配備0.5X-100X多倍率物鏡，涵蓋標(biāo)準(zhǔn)、長焦、超長焦多種工作距離，搭配0.5X、0.75X、1.5X、2.0X可選zoom切換，視場范圍可達(dá)0.04-17.49mm，集成圖像拼接功能后還可實現(xiàn)更大范圍測量，適配不同尺寸、不同精度要求的樣品檢測。
全材質(zhì)適配，無損傷測量更省心
設(shè)備具備很強的樣品適配能力，可測量透明、不透明、鍍膜、非鍍膜、反射、弱反射等各類材料表面，樣品反射率適配范圍達(dá)0.05%-100%；可耐受光滑樣品55°（100×物鏡）、散射面86°的最大傾斜度，樣品最大尺寸可達(dá)89×203×203mm（高×寬×長），更大尺寸樣品可部分懸空放置測量。全程無需特殊樣品制備流程，非接觸、無破壞性測量，有效保護(hù)樣品原有形貌與性能。
智能內(nèi)核：軟硬件協(xié)同，解鎖多元分析能力
專屬Mx™
分析測量軟件，全流程智能管控
設(shè)備搭載ZYGO專屬Mx?分析測量軟件，實現(xiàn)系統(tǒng)全流程控制與數(shù)據(jù)分析的一體化操作：支持交互式三維形貌展示，讓表面特征可視化呈現(xiàn)；可輸出精準(zhǔn)定量數(shù)據(jù)，配備直觀導(dǎo)航欄與內(nèi)置過程控制（SPC）的統(tǒng)計、控制圖表，還能自定義設(shè)置通過/失敗限制，貼合工業(yè)生產(chǎn)的質(zhì)量管控需求。
豐富分析功能，適配多元測量需求
軟件內(nèi)置多項實用分析功能，區(qū)域分析工具可智能化分離并分析測量數(shù)據(jù)的不同區(qū)域，實現(xiàn)特征高度尺寸量化、溝槽寬度深度分析等；支持拼接測量與自動化功能，可拼接高倍率高分辨率數(shù)據(jù)，自動測試樣品不同區(qū)域，兼顧大視場范圍與高數(shù)據(jù)密度；內(nèi)置Python編程環(huán)境，可編寫自動化測試程序或自定義分析功能，還能創(chuàng)建專屬軟件界面和控制板，靈活適配不同行業(yè)的個性化測量需求。
此外，設(shè)備搭載SmartPSI技術(shù)，實現(xiàn)高精度、高速、低噪聲測量，對超光滑表面的Sq結(jié)果測量可達(dá)0.06nm，為超光滑表面檢測提供更精準(zhǔn)的解決方案。
硬核配置：穩(wěn)定可靠，適配多場景環(huán)境
核心硬件，精準(zhǔn)耐用
掃描裝置采用閉環(huán)反饋電容控制精密壓電陶瓷，帶防撞保護(hù)，縱向掃描范圍涵蓋150μm精密壓電陶瓷掃描與20mm擴展掃描，兼顧精細(xì)掃描與大范圍測量；光源為專利固態(tài)白光光源，帶手動限位、孔徑限位與光譜過濾功能，光線穩(wěn)定且可靈活調(diào)節(jié)；測量陣列可選1600×1200、1000×1000、1000×600、1000×200多種規(guī)格，適配不同測量效率需求。
樣品臺分手動與電控兩種類型，手動平臺XY向平移范圍100mm、傾斜±3°，電控平臺XY向平移范圍150mm、傾斜±3°，編碼XYZ軸可選配；精密聚焦支持電控手動與聚焦輔助自動聚焦，100μm行程下分辨率達(dá)0.1μm，軟件Mx中還集成樣件觀察窗，便于樣品快速定位與實時觀察。
整機規(guī)格合理，環(huán)境適應(yīng)性強
設(shè)備主機尺寸75×64×56cm，含支撐且門關(guān)時最大高度151×73×61cm，抽屜閉合時83×73×61cm，主機重量約91Kg，整套系統(tǒng)含支撐重量229Kg，可按需選配專用工作臺，布局靈活不占過多空間。
控制系統(tǒng)采用i7級別PC，搭配23寸1080p顯示器，軟件運行于64位MicrosoftWindows10系統(tǒng)，操作流暢、響應(yīng)迅速。設(shè)備對環(huán)境適應(yīng)性強，工作溫度15-30℃（溫度變化率＜1.0℃/15分鐘），相對濕度5%-95%且無凝結(jié)；內(nèi)置隔振系統(tǒng)，可隔離1-120Hz的震動，震動標(biāo)準(zhǔn)達(dá)VC-C或更好，聲學(xué)標(biāo)準(zhǔn)NC30或更好；供電為100-240VAC、50/60Hz，全球多地區(qū)均可適配使用。
全場景應(yīng)用：覆蓋多行業(yè)，賦能研發(fā)與生產(chǎn)
NewView?9000憑借多維度性能優(yōu)勢，成為跨行業(yè)的精密計量利器，覆蓋精密制造、研發(fā)創(chuàng)新等多個領(lǐng)域，為各行業(yè)技術(shù)升級與產(chǎn)品質(zhì)量提升提供堅實計量支撐：
1.精密機械加工：測量機械零件表面粗糙度、面形、波紋度，精準(zhǔn)檢測臺階高度、溝槽尺寸等關(guān)鍵參數(shù)，可捕捉傳動齒輪接觸面中頻波紋度等傳統(tǒng)計量方式難以發(fā)現(xiàn)的誤差，嚴(yán)格控制制造工藝，提升零部件加工質(zhì)量。
2.光學(xué)制造：適配光學(xué)鏡片、透鏡等元件的超精密測量需求，借助多倍率物鏡測量不同空間頻率的表面特征，SmartPSI?技術(shù)快速完成超光滑光學(xué)表面的粗糙度測量，精準(zhǔn)管控精密光學(xué)制造工藝。
3.消費電子：測量手機攝像頭、面板、半導(dǎo)體器件等產(chǎn)品的臺階、深度、紋理與關(guān)鍵尺寸，單臺設(shè)備完成多參數(shù)測量，節(jié)省工藝時間；靈活的平臺與可移植應(yīng)用程序，實現(xiàn)從研發(fā)到量產(chǎn)的計量方案復(fù)用，適配消費電子行業(yè)小批量到大批量的生產(chǎn)需求。
4.摩擦學(xué)與材料研發(fā)：對金屬、陶瓷、玻璃、PTFE納米復(fù)合膜、類金剛石薄膜等多種材料進(jìn)行納米級精度表面特征測量，為磨損分析、新材料表面性能研究提供定量3D形貌數(shù)據(jù)，加速新材料研發(fā)進(jìn)程。
5.透明薄膜測量：可測量厚度大于400nm的薄膜，同時獲取薄膜厚度與表面形貌數(shù)據(jù)，適配光學(xué)薄膜、電子薄膜等產(chǎn)品的檢測需求。
6.先進(jìn)技術(shù)研發(fā)：為新材料、新表面、新工藝的科學(xué)探索提供高精度、高重復(fù)性的量化計量結(jié)果，助力研發(fā)人員分析樣品表面特征與性能的關(guān)聯(lián)，加速技術(shù)創(chuàng)新。
7.醫(yī)療與新興領(lǐng)域：測量人工關(guān)節(jié)植入體等醫(yī)療精密部件，以及增強現(xiàn)實、虛擬現(xiàn)實顯示器件等創(chuàng)新產(chǎn)品，為高端醫(yī)療與新興科技產(chǎn)品的質(zhì)量把控提供計量保障。
定制服務(wù)：全周期保障，貼合個性化需求
ZYGO擁有專業(yè)的工程師團(tuán)隊，可根據(jù)客戶的關(guān)鍵計量需求，為NewView?9000提供定制化解決方案，包括定制樣品夾具、定制保護(hù)罩、專屬隔振系統(tǒng)、定制軟件功能，以及系統(tǒng)集成與OEM服務(wù)等，貼合不同行業(yè)、不同企業(yè)的個性化測量需求。
同時，ZYGO在全球多地布局完善的服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，憑借數(shù)十年超精密計量技術(shù)經(jīng)驗，為客戶提供全周期技術(shù)支持與服務(wù)保障，定期維護(hù)、及時響應(yīng)，確保設(shè)備始終保持穩(wěn)定的測量性能，貼合客戶在研發(fā)與生產(chǎn)中的長期計量需求。
從實驗室的高端研發(fā)到工業(yè)現(xiàn)場的在線檢測，ZYGONewView?90003D光學(xué)表面輪廓儀以超精密的測量性能、智能化的操作體驗、全場景的適配能力，成為各行業(yè)精密計量的核心之選，助力企業(yè)以精準(zhǔn)計量推動工藝升級，以品質(zhì)鑄就產(chǎn)品核心競爭力。
光學(xué)計量廣泛用于實驗室測量和工業(yè)制造中過程控制?；诠鈱W(xué)計量方案測量表面形貌；具有非接 觸、無破壞性、高敏感性的特點，計量結(jié)果分辨率和精度出色——這都是現(xiàn)代工業(yè)制造和研發(fā) 應(yīng)用所必需的。
為什么選擇3D 光學(xué)輪廓儀?
現(xiàn)代科技產(chǎn)品開發(fā)，常常是由關(guān)鍵表面的關(guān) 鍵性能來推動。3D 光學(xué)輪廓儀，用于測量關(guān) 鍵面的光潔度、粗糙度和形貌。ZYGO 3D光 學(xué)輪廓儀是您測量工具，因為我們能精 確、定量、非接觸測量，在數(shù)秒內(nèi)捕獲百萬 數(shù)據(jù)點，表征樣品表面納米級形貌特征，計 量結(jié)果符合ISO 標(biāo)準(zhǔn)。
NewViewTM 9000 3D 光學(xué)表面輪廓儀，易于使用，擁 有多項優(yōu)良專業(yè)與創(chuàng)新技術(shù)，ZYGO 為您提供這一專業(yè)解決方案。
它們高度自動化，用途廣泛，測試速度快，精度高；可選多種 配置，用于測量超光滑，粗糙或者大坡度表面。
在測量不同表面結(jié)構(gòu)和紋理時，客戶可以選擇獲得數(shù)百個參數(shù)結(jié) 果，包括符合ISO 25178標(biāo)準(zhǔn)的表面粗糙度結(jié)果，以及符合
ISO 4287/4288的二維輪廓參數(shù)。
ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀，不僅僅是比傳統(tǒng)的接觸式輪廓儀測量表 面時更快，測量的視野更大，數(shù)據(jù)點更多；我們在精度和準(zhǔn)確度 上，比傳統(tǒng)的接觸式輪廓儀更上一層樓。
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