輪廓儀

簡(jiǎn)要描述：NewView™ 9000 3D光學(xué)表面輪廓儀是ZYGO旗下核心旗艦計(jì)量產(chǎn)品，依托品牌前沿的光學(xué)測(cè)量技術(shù)與智能化創(chuàng)新設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了非接觸、無破壞性的高精度表面形貌測(cè)量，兼顧實(shí)驗(yàn)室研發(fā)的精度需求與工業(yè)生產(chǎn)過程控制的高效實(shí)用需求，可適配多行業(yè)、多場(chǎng)景的精密測(cè)量工作，為各類高精尖產(chǎn)品的研發(fā)、質(zhì)控、工藝優(yōu)化提供可靠且的計(jì)量支撐。

產(chǎn)品型號(hào)：ZYGO NewView™ 9000
廠商性質(zhì)：代理商
更新時(shí)間：2026-03-06
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詳細(xì)介紹

ZYGO NewView™ 9000 3D光學(xué)表面輪廓儀產(chǎn)品介紹
一、品牌與產(chǎn)品概述：深耕精密計(jì)量，鑄就硬核實(shí)力
ZYGO作為深耕超精密制造技術(shù)領(lǐng)域數(shù)十年的企業(yè)，始終專注于表面測(cè)量、位置傳感、精密光學(xué)元件及組件制造領(lǐng)域，憑借深厚的技術(shù)積淀與豐富的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)，為全球各行業(yè)提供專業(yè)化、定制化的光學(xué)計(jì)量解決方案，是超精密計(jì)量領(lǐng)域的品牌。
NewView™ 9000 3D光學(xué)表面輪廓儀是ZYGO旗下核心旗艦計(jì)量產(chǎn)品，依托品牌前沿的光學(xué)測(cè)量技術(shù)與智能化創(chuàng)新設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了非接觸、無破壞性的高精度表面形貌測(cè)量，兼顧實(shí)驗(yàn)室研發(fā)的精度需求與工業(yè)生產(chǎn)過程控制的高效實(shí)用需求，可適配多行業(yè)、多場(chǎng)景的精密測(cè)量工作，為各類高精尖產(chǎn)品的研發(fā)、質(zhì)控、工藝優(yōu)化提供可靠且的計(jì)量支撐。

二、核心測(cè)量技術(shù)：硬核原理加持，突破測(cè)量瓶頸
1. 核心原理：相干掃描干涉技術(shù)（CSI）
NewView™ 9000以相干掃描干涉技術(shù)（CSI）為核心測(cè)量原理，該技術(shù)也是ZYGO全系3D光學(xué)輪廓儀的技術(shù)基石，歷經(jīng)市場(chǎng)與行業(yè)多重驗(yàn)證，穩(wěn)定性與精準(zhǔn)度。設(shè)備通過窄線寬濾波的LED光源產(chǎn)生干涉條紋，對(duì)樣品測(cè)試表面與理想?yún)⒖济娴钠钸M(jìn)行精細(xì)化采樣分析，借助干涉顯微物鏡垂直于樣品表面掃描，可獲取整個(gè)視場(chǎng)區(qū)域的三維數(shù)據(jù)地圖，而非傳統(tǒng)設(shè)備的單一剖面線輪廓，真正實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)的形貌縱向分辨率，精準(zhǔn)捕捉微觀形貌細(xì)節(jié)。
2. 專屬優(yōu)化與抗振技術(shù)
為保障測(cè)量的高保真度，ZYGO針對(duì)每一款配套物鏡開展專屬優(yōu)化，讓干涉條紋包絡(luò)的峰值位置與物鏡光學(xué)成像焦點(diǎn)契合，確保設(shè)備在全放大倍數(shù)下都能保持穩(wěn)定如一的測(cè)量精度，杜絕倍率切換帶來的精度偏差。同時(shí)，設(shè)備深度融合SureScan?抗振掃描技術(shù)，即便在存在振動(dòng)的復(fù)雜工業(yè)環(huán)境中，也能完成高精度計(jì)量作業(yè)，打破傳統(tǒng)精密測(cè)量設(shè)備對(duì)嚴(yán)苛無塵、無振環(huán)境的硬性限制，大幅拓展設(shè)備適用場(chǎng)景。

三、產(chǎn)品性能與功能特點(diǎn)：全維升級(jí)，適配多元需求
1. 高精度與高重復(fù)性，數(shù)據(jù)精準(zhǔn)可靠
NewView™ 9000具備行業(yè)頂尖的測(cè)量精度與重復(fù)性，滿足超精密計(jì)量需求：表面形貌重復(fù)性優(yōu)于0.08nm，RMS重復(fù)性達(dá)0.008nm；光學(xué)橫向分辨率在100×物鏡下可達(dá)0.34μm，空間采樣分辨率在100×物鏡2×zoom下為0.04μm；臺(tái)階高度測(cè)量重復(fù)性為0.1%，精度高達(dá)0.03%，可精準(zhǔn)捕捉樣品表面納米級(jí)的細(xì)微形貌特征。所有測(cè)量結(jié)果均嚴(yán)格符合ISO 25178、ISO 4287/4288等國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)，數(shù)據(jù)具備通用性、可追溯性。
2. 高效測(cè)量與極簡(jiǎn)操作，降低使用門檻
設(shè)備支持高速掃描模式，不同測(cè)量陣列下最大掃描速度可達(dá)171μm/sec，數(shù)秒內(nèi)即可捕獲百萬級(jí)海量數(shù)據(jù)點(diǎn)，相較于傳統(tǒng)設(shè)備效率呈幾何級(jí)提升，適配工業(yè)量產(chǎn)化檢測(cè)節(jié)奏。搭載Part Finder自動(dòng)條紋對(duì)焦與Smart Setup智能設(shè)置功能，無需專家級(jí)專業(yè)培訓(xùn)，新手操作1分鐘內(nèi)即可自動(dòng)找到條紋并完成測(cè)試準(zhǔn)備，大幅降低操作門檻與人力成本。
硬件配置上，設(shè)備配備0.5X-100X多倍率物鏡，涵蓋標(biāo)準(zhǔn)、長(zhǎng)焦、超長(zhǎng)焦多種工作距離，搭配0.5X、0.75X、1.5X、2.0X可選的zoom切換模式，視場(chǎng)范圍可達(dá)0.04-17.49mm，集成圖像拼接功能后，還可實(shí)現(xiàn)更大范圍的全域測(cè)量，輕松適配不同尺寸、不同精度要求的樣品檢測(cè)，真正做到一機(jī)多用。
3. 智能化軟件與強(qiáng)大分析能力
設(shè)備搭載ZYGO專屬定制的Mx?分析測(cè)量軟件，可實(shí)現(xiàn)全流程系統(tǒng)控制與一站式數(shù)據(jù)分析，支持交互式三維形貌可視化展示、定量數(shù)據(jù)精準(zhǔn)輸出，配備直觀簡(jiǎn)潔的導(dǎo)航欄與內(nèi)置過程控制（SPC）的統(tǒng)計(jì)、控制圖表，還可自定義設(shè)置通過/失敗限制，高度貼合工業(yè)生產(chǎn)的質(zhì)量管控需求。
軟件功能豐富且智能化：區(qū)域分析工具可智能分離并分析測(cè)量數(shù)據(jù)的不同區(qū)域，實(shí)現(xiàn)特征高度尺寸量化、溝槽寬度深度精準(zhǔn)分析；支持拼接測(cè)量與全自動(dòng)化功能，可拼接高倍率高分辨率數(shù)據(jù)，自動(dòng)測(cè)試樣品不同區(qū)域，兼顧大視場(chǎng)范圍與高數(shù)據(jù)密度；內(nèi)置Python編程環(huán)境，支持用戶編寫自動(dòng)化測(cè)試程序、自定義分析功能，還能創(chuàng)建專屬軟件界面和控制板，靈活適配個(gè)性化測(cè)量需求。此外，搭載的SmartPSI?技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、高速、低噪聲測(cè)量，對(duì)超光滑表面的Sq結(jié)果測(cè)量可達(dá)0.06nm，進(jìn)一步強(qiáng)化設(shè)備性能。
4. 廣泛樣品適配性，無損檢測(cè)全覆蓋
NewView™ 9000對(duì)樣品材質(zhì)、形態(tài)、規(guī)格兼容性強(qiáng)，可測(cè)量透明、不透明、鍍膜、非鍍膜、反射、弱反射等各類材料表面，樣品反射率適配范圍廣至0.05%-100%；可耐受樣品最大傾斜度表現(xiàn)優(yōu)異，光滑樣品可達(dá)55°（100×物鏡）、散射面高達(dá)86°；樣品最大尺寸可達(dá)89×203×203mm（高×寬×長(zhǎng)），更大尺寸樣品可部分懸空放置測(cè)量，無需特殊的樣品制備流程，全程非接觸測(cè)量對(duì)樣品無任何損傷，適配各類精密易損樣品檢測(cè)。

四、設(shè)備硬件配置：精工打造，穩(wěn)定耐用
1. 核心硬件參數(shù)
掃描裝置采用閉環(huán)反饋電容控制精密壓電陶瓷，自帶防撞保護(hù)設(shè)計(jì)，縱向掃描范圍涵蓋150μm精密壓電陶瓷掃描與20mm擴(kuò)展掃描，兼顧精細(xì)測(cè)量與大范圍檢測(cè)；光源為固態(tài)白光光源，配備手動(dòng)限位、孔徑限位與光譜過濾功能，保障光源穩(wěn)定性與測(cè)量精準(zhǔn)度；測(cè)量陣列可選1600×1200、1000×1000、1000×600、1000×200多種規(guī)格，可根據(jù)實(shí)際需求靈活選配。
2. 樣品臺(tái)與聚焦系統(tǒng)
樣品臺(tái)分為手動(dòng)與電控兩種類型，手動(dòng)平臺(tái)XY向平移范圍100mm、傾斜±3°，電控平臺(tái)XY向平移范圍150mm、傾斜±3°，編碼XYZ軸支持按需選配；精密聚焦支持電控手動(dòng)與聚焦輔助自動(dòng)聚焦雙模式，100μm行程下分辨率達(dá)0.1μm，軟件Mx中還集成樣件觀察窗，便于精準(zhǔn)定位樣品、實(shí)時(shí)觀測(cè)測(cè)量狀態(tài)。
3. 整機(jī)規(guī)格與環(huán)境要求
設(shè)備主機(jī)尺寸為75×64×56cm，含支撐且門關(guān)時(shí)最大高度為151×73×61cm，抽屜閉合時(shí)為83×73×61cm；主機(jī)重量約91Kg，整套系統(tǒng)含支撐重量為229Kg，可選配專用工作臺(tái)，適配不同實(shí)驗(yàn)室與車間布局?？刂葡到y(tǒng)采用i7級(jí)別PC，搭配23寸1080p高清顯示器，軟件運(yùn)行于64位Microsoft Windows 10系統(tǒng)，操作流暢、運(yùn)行穩(wěn)定。
設(shè)備環(huán)境適應(yīng)性出眾，工作溫度為15-30℃，溫度變化率需小于1.0℃/15分鐘；相對(duì)濕度5%-95%且無凝結(jié)；內(nèi)置隔振系統(tǒng)，可隔離1-120Hz的震動(dòng)，震動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)達(dá)到VC-C或更好，聲學(xué)標(biāo)準(zhǔn)NC30或更好；供電兼容100-240VAC、50/60Hz，適配全球多地供電標(biāo)準(zhǔn)。

五、典型應(yīng)用場(chǎng)景：覆蓋全行業(yè)，賦能精密制造
NewView™ 9000憑借多維度性能優(yōu)勢(shì)，可覆蓋多行業(yè)超精密測(cè)量需求，是工藝控制、研發(fā)創(chuàng)新的核心計(jì)量工具，具體應(yīng)用場(chǎng)景涵蓋：
- 精密機(jī)械加工：精準(zhǔn)測(cè)量機(jī)械零件表面粗糙度、面形、波紋度，檢測(cè)臺(tái)階高度、溝槽尺寸等關(guān)鍵參數(shù)，可捕捉傳動(dòng)齒輪接觸面中頻波紋度等傳統(tǒng)計(jì)量難以檢測(cè)的誤差，嚴(yán)控加工精度、提升零部件品質(zhì)。
- 光學(xué)制造：適配光學(xué)鏡片、透鏡等元件超精密測(cè)量需求，借助多倍率物鏡檢測(cè)不同空間頻率表面特征，SmartPSI?技術(shù)可快速完成超光滑光學(xué)表面粗糙度測(cè)量，助力管控光學(xué)制造工藝。
- 消費(fèi)電子：針對(duì)手機(jī)攝像頭、面板、半導(dǎo)體器件等產(chǎn)品，測(cè)量臺(tái)階、深度、紋理與關(guān)鍵尺寸，單臺(tái)設(shè)備實(shí)現(xiàn)多參數(shù)檢測(cè)，節(jié)省工藝時(shí)間，計(jì)量方案可從研發(fā)復(fù)用至量產(chǎn)，適配大小批量生產(chǎn)需求。
- 摩擦學(xué)與材料研發(fā)：對(duì)金屬、陶瓷、玻璃、納米復(fù)合膜等各類材料開展納米級(jí)精度表面特征測(cè)量，為磨損分析、新材料表面性能研究提供定量3D形貌數(shù)據(jù)，支撐科研創(chuàng)新。
- 透明薄膜測(cè)量：可測(cè)量厚度大于400nm的薄膜，同步獲取薄膜厚度與表面形貌數(shù)據(jù)，適配光學(xué)薄膜、電子薄膜等產(chǎn)品檢測(cè)。
- 醫(yī)療與創(chuàng)新領(lǐng)域：應(yīng)用于人工關(guān)節(jié)植入體等精密醫(yī)療部件測(cè)量，以及AR/VR顯示器件等創(chuàng)新產(chǎn)品計(jì)量檢測(cè)，助力各行業(yè)技術(shù)升級(jí)與質(zhì)量提升。

六、定制化與配套服務(wù)：全周期保障，貼合專屬需求
ZYGO擁有專業(yè)資深的工程師團(tuán)隊(duì)，可根據(jù)客戶個(gè)性化關(guān)鍵計(jì)量需求，為NewView? 9000提供定制化解決方案，包括定制樣品夾具、定制保護(hù)罩、專屬隔振系統(tǒng)、定制軟件功能，以及系統(tǒng)集成與OEM服務(wù)等，精準(zhǔn)匹配不同客戶的特殊使用場(chǎng)景。
同時(shí)，ZYGO在全球多地布局完善的服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，依托數(shù)十年超精密計(jì)量技術(shù)經(jīng)驗(yàn)，為客戶提供全周期技術(shù)支持與售后保障，定期校準(zhǔn)、維護(hù)設(shè)備，確保設(shè)備長(zhǎng)期保持穩(wěn)定的測(cè)量性能，貼合客戶研發(fā)與生產(chǎn)中的長(zhǎng)期計(jì)量需求。

七、產(chǎn)品總結(jié)
ZYGO NewView™ 9000 3D光學(xué)表面輪廓儀深度融合非接觸測(cè)量技術(shù)、頂尖精度性能與智能化創(chuàng)新設(shè)計(jì)，既滿足實(shí)驗(yàn)室的精密研發(fā)測(cè)量需求，又適配工業(yè)生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)的過程控制與在線檢測(cè)，兼具精度、效率、穩(wěn)定性與兼容性，是各行業(yè)實(shí)現(xiàn)精密計(jì)量、把控產(chǎn)品質(zhì)量、提升研發(fā)效率的核心設(shè)備。

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